Au/SiO_2纳米多层薄膜的制备及其性质表征

作者：张芸; 张波萍; 焦力实; 张海龙; 李向阳

来源：Acta Physica Sinica, 2006, (07): 3730-3735.

• Au/SiO_2纳米复合薄膜
• 多靶磁控溅射
• 吸收光谱
• 有效介质理论 Au/SiO_2 nano-composite film
• magnetron plasma sputtering
• optical absorption spectra
• effective medium theory

利用多靶磁控溅射技术制备了Au/SiO2纳米颗粒分散氧化物多层复合薄膜.研究了在保持Au单层颗粒膜沉积时间一定时薄膜厚度一定、变化SiO2的沉积时间及SiO2的沉积时间一定而改变薄膜厚度时,多层薄膜在薄膜厚度方向的微观结构对吸收光谱的影响.研究结果表明具有纳米层状结构的Au/SiO2多层薄膜在560nm波长附近有明显的表面等离子共振吸收峰,吸收峰的强度随Au颗粒的浓度增加而增强,在Au颗粒浓度相同的情况下,复合薄膜光学吸收强度随薄膜厚度的增加而增强.但当金属颗粒的浓度增加到一定程度时,金属颗粒相互接触,没有观察到纳米层状结构,薄膜不显示共振吸收峰特征.用修正后的M-G(Maxwell-Garn...

• 出版日期2006
• 单位钢铁研究总院; 北京科技大学; 大连理工大学