MEMS永磁振动发电机的设计、制作和测试

作者：王佩红; 赵小林; 戴旭涵; 汪忠柱

来源：信息与电子工程, 2011, (01): 96-100.

• 微机电系统
• 振动发电机
• 永磁
• 微加工技术
• 铜线圈
• 镍弹簧 Micro Electro Mechanical Systems
• vibration-based power generator
• permanent magnet
• micromachining technique
• micro coil
• nickel planar spring

提出了一种基于微电子机械系统技术的微型永磁振动发电机。该发电机能够采集自然界中存在的机械振动能并转换成电能。它主要包括1个固定的双层铜线圈和1个由永磁体和硅基平面弹簧构成的拾振系统。采用体硅微加工和微电镀技术制作硅基平面弹簧和微线圈。组装成功的样机A和样机B的区别在于线圈的尺寸不同。样机B中线圈面积为样机A中线圈面积的28%。测试表明,样机A和B的固有频率分别为222 Hz和247 Hz。在加速度为1 g的振动激励下,样机A在共振状态下产生的最大感应电压和最大负载功率分别为51 mV和5.89μW。但是,在相同的振动激励下,样机B产生的最大感应电压和最大负载功率分别为62 mV和6.4μW,相...

• 出版日期2011
• 单位安徽大学; 上海交通大学