考虑寄生参数影响的芯片RC-HBM静电测试模型

作者：熊素琴; 李求洋; 肖志强^*

来源：电力系统保护与控制, 2022, 50(04): 172-179.

DOI：10.19783/j.cnki.pspc.210450

• 电源芯片
• HBM模型
• ESD
• 寄生参数
• 静电放电电流

采用常规的人体模型(Human Body Model, HBM)进行静电释放(Electro-Static Discharge, ESD)测试时往往容易受到寄生参数的影响，使得电源芯片抗静电能力测量值与实际抗静电能力存在偏差，导致劣质产品通过HBM ESD测试，影响电源芯片产品良品率的提升。为此，提出了一种RC-HBM模型，通过引入RC并联支路，校正因寄生参数引起的静电放电电流的偏差，满足电源芯片静电可靠性测试的要求。首先阐述了静电对电源芯片的损坏机理。其次，分析了寄生参数对ESD电流的影响，阐述了常规HBM ESD测试的局限性。并提出了一种新型的RC-HBM模型，给出了RC并联支路参数的设计依据。最后，通过批量实验验证了所提RC-HBM模型的准确性和合理性。

• 出版日期2022
• 单位湖南大学; 中国电力科学研究院有限公司