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摘要
面向液体低流速测量应用需求，基于介质热传递工作原理，采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器，加热和测温元件均采用铂电阻，传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测试。通过实验测试，在室温条件下，传感器加热电阻为108.8Ω,测温电阻为525.2Ω,且测温电阻具有良好的温度—阻值线性度(R2≥0.999 9),传感器适用量程为0～90 mm/s,在极低流速0～20 mm/s范围测试，有较好的输出曲线关系，最高灵敏度达到0.06mV/(mm·s-1),且有较好的稳定性能。传感器具有尺寸小、成本低、可批量制造，将为液体流速测量领域提供核心传感器。
- 出版日期2022
- 单位宁波大学
