在给定毛细管结构参数和放电条件的情况下，计算了毛细管放电三束等离子体的发光功率，并在毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源演示装置上进行了实测，测量数据与理论值基本相符。结果表明：三束等离子体发光的过程中，由于不同氮气气压下的光谱吸收和光学屏蔽极大削弱了极紫外光的输出能量，导致毛细管放电三束等离子体的发光功率随氮气气压的变化表现出特有的规律；与毛细管放电单束等离子体相比，极大输出对应的最佳气压明显提高。
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