CBIR在半导体测量中的应用

作者：**

来源：中国高新技术企业, 2010, (01): 61-62.

DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2010.01.034

• CBIR
• 半导体测量
• 侧壁
• SEM图像

文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用。从半导体生产测量的特点入手,阐述了利用CBIR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义,在此基础上提出了下一步工作进展的方向,以实现用数字化指导生产实践的目标。

• 出版日期2010
• 单位西北工业大学明德学院