单层薄膜生长率实时检测系统的设计与分析

作者：方小坤; 戴亦宗

来源：扬州职业大学学报, 2009, (03): 35-37+41.

• 单层薄膜生长率
• 实时检测
• 简化模型
• 精度分析 growth rate of monolayer film
• real-time measurement
• simplified model
• precision analysis

基于反射光干涉测量法介绍了单层薄膜生长率实时检测系统的原理,建立了双光束干涉简化模型。进行了LD功率稳定闭环控制电路和探测器前置聚光镜的设计,并利用简化模型对膜厚检测的精度进行定量分析。

• 出版日期2009
• 单位扬州市职业大学