Fe_3O_4磁性导体表面磁控溅射NdCoCr薄膜组织和磁性分析

作者：程智君; 袁勋; 何超^*

来源：真空科学与技术学报, 2020, 40(11): 1017-1021.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.11.03

• 磁控溅射
• 金属合金
• NdCoCr薄膜
• 磁性

采用磁控溅射工艺,以Fe3O4磁性导体作为基底材料在其表面制得Nd Co Cr合金薄膜,分析了加入不同比例Co的情况下制得的Nd-Co非晶薄膜垂直磁各向异性(PMA)性能及其磁畴特征,同时对退火态薄膜组织相成分和磁性进行研究。结果表明:本实验制得了具有非晶形态的薄膜结构,当薄膜内的Co含量增加后,形成了强度更高的Fe3O4衍射峰。当Co含量逐渐增大后,Ms发生了不断增强。初始薄膜Keff表现为随Co含量增大而提高。Co含量为4%试样MFM图像上形成了明暗相间条纹。通过MFM方法测试得到的Δ■r曲线表现为与Ku曲线形状具有明显相似性,都在Co含量为6%位置处达到最大值。各退火态试样中都形成了Nd4Co3、Nd2Co17、Nd Co Cr2。当薄膜内析出Nd Co Cr5与Nd2Co7纳米晶后,获得了更大矫顽力,当Co含量大于4%时,退火态薄膜形成了较低的矫顽力。

• 出版日期2020
• 单位上饶职业技术学院