金属氧化物半导体由于其优异的性能在气敏传感方面得到了广泛的应用。为了进一步改善其性能,通常会对其进行改性处理。常用方法为向其中加入贵金属,活化传感材料表面,促进气体分子的氧化还原反应,提高气敏灵敏度;还可以采用形成异质结的方式,通过合理选取结两侧材料来调整费米能级,改变电荷通道,使器件在氧化和还原气氛下结电阻发生较大变化。着重探讨了金属氧化物气敏传感器的改性方法及改性机理。
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