低温沉积硅薄膜电池及其在塑料衬底上的应用

作者：倪牮; 薛俊明; 赵鹏; 张建军; 袁育杰; 侯国付; 赵颖; 耿新华

来源：太阳能学报, 2010, (01): 40-44.

• 低温沉积
• 硅薄膜太阳电池
• 塑料衬底
• 柔性电池 low substrate temperatures
• silicon thin film solar cells
• plastic substrates
• flexible solar cells

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,保持衬底温度在125℃沉积硅薄膜材料及电池,研究了硅烷浓度、辉光功率等沉积参数对材料和电池性能的影响。在125℃的低温条件下,通过优化沉积工艺,在玻璃衬底和PET塑料衬底上分别制备出效率达到6.8%和3.9%的单结非晶硅电池。在PET衬底上,将低温沉积非晶硅电池的技术应用于的叠层电池的顶电池,制备出效率为4.6%的非晶/微晶硅叠层电池。

• 出版日期2010
• 单位南开大学