摘要

在SOI平台上提出并设计了一种基于亚波长光栅(SWG)和非对称耦合型(ADC)波导的高带宽低损耗的定向耦合器。SWG结构嵌入在两条波导之间,可以有效提高TE模式的耦合强度。通过优化分析选择器件参数,并通过调整耦合区长度实现了不同功率分束比,包括50%/50%、60%/40%、70%/30%、80%/20%、90%/10%。在不同分束比下带宽均超过100 nm,插入损耗均小于0.3 dB,部分分束比下带宽大于150 nm,插入损耗小于0.2 dB。器件最小耦合区尺寸仅为7.4μm×1.2μm。