介绍了真空电子束熔炼炉提纯原理、主要技术参数、设备结构及特点。该设备是冶金法制备太阳能级多晶硅技术中的关键设备,已应用到了国内多家单位工业化生产中,每炉产量为750 kg,单台设备每天产量为2250 kg,通过检测,硅料中磷的含量由6 ppm降到了≤0.1 ppm,达到了太阳能级多晶硅对磷含量的要求。
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