针对电子特气中痕量水分的测量,设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法(石英振荡法和光腔衰荡法)及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气,有效地保证了水分测量结果的准确可靠。
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