摘要

通过设计新型的附带恒力预紧顶尖的气浮尾座,且合理匹配工艺参数,利用自主研制的超精密加工机床,成功实现了φ12 mm×150 mm陶瓷镀金四极杆过渡镍层的超精密车削加工。该工艺系统加工质量稳定,整杆圆度约为0.2~0.4μm,圆柱度约为1μm。

  • 出版日期2014
  • 单位中国工程物理研究院机械制造工艺研究所