Mo覆盖层对MgO/CoFeB/Mo结构磁各向异性的影响

作者：于涛; 刘毅; 朱正勇; 钟汇才; 朱开贵; 苟成玲

来源：Acta Physica Sinica, 2015, (24): 359-367.

• 覆盖层
• 垂直磁各向异性
• 磁死层 capping layer
• perpendicular magnetic anisotropy
• magnetic dead layer

研究了Mo覆盖层厚度对MgO/CoFeB结构磁各向异性的影响.研究发现,加平行磁场生长出来的MgO/CoFeB/Mo样品表现为面内各向异性,并且随着CoFeB的厚度减小,面内各向异性逐渐减弱;在CoFeB厚度减小到1.1nm时,仍可以保持面内各向异性,垂直方向的外加饱和场逐渐减少;厚度在0.9nm及以下的情况下,面内各向异性消失.改变Mo覆盖层厚度,当tMo=1.6nm时,垂直方向的饱和场最小.当生长过程的磁场变为垂直磁场时,不同厚度的Mo覆盖层对MgO/CoFeB的磁各向异性影响不同.Mo厚度在1nm及以下时MgO/CoFeB/Mo样品表现为面内各向异性,Mo覆盖层厚度在1.2和5nm之间时...

• 出版日期2015
• 单位中国科学院微电子研究所; 北京航空航天大学