综述了液相法(包括溶胶-凝胶法、蒸发诱导自组装法等)、电化学法(包括阳极氧化法、微弧氧化法等)、物理气相法(包括磁控溅射法、电子束蒸发法等)、化学气相法等制备多孔TiO2薄膜的方法,介绍了相应的合成原理,指出不同方法制备的多孔TiO2薄膜在表面形貌、孔径尺寸、取向和孔壁厚度等方面存在很大差异。通过对比不同制备方法的优缺点并结合工业化生产成本,提出了今后多孔TiO2薄膜制备技术的发展方向,并展望了多孔TiO2薄膜广阔的应用前景。
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