电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术

作者：史强; 靳鹏云; 张福安

来源：微细加工技术, 2002, (01): 10-12+65.

• 数字处理技术
• 电子束缩小投影曝光机
• 对准系统 digital process technology
• projection electron beam lithography system with demagnification imaging(PELDI)
• alignment

介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理 ,阐述数字处理技术在对准系统中的应用 ,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计 ,并给出实际测试结果

• 出版日期2002
• 单位中国科学院电工研究所