超宽带矩形微同轴滤波器制备及性能分析

作者：汪郁东; 赵广宏; 陈春明; 陈青松; 谷胜明; 许进

来源：遥测遥控, 2020, 41(03): 65-70.

DOI：10.13435/j.cnki.ttc.003076

• 微电子机械系统
• 矩形微同轴
• 超宽带
• 滤波器

在射频微系统对高性能超宽带滤波器的需求下,基于矩形微同轴制备技术研究了10GHz～50GHz的超宽带矩形微同轴滤波器的设计及制备。在矩形微同轴传输线的电路基础上进行电路实现,对超宽带矩形微同轴滤波器模型进行仿真试验,结果显示,在10GHz～50GHz工作带宽内插入损耗小于0.8dB,回波损耗优于17dB,带外抑制达到45dB。基于矩形同轴结构的制备流程经过九次光刻-电铸-平坦化过程及一次介质支撑结构光刻后完成十层滤波器样件的制备,测得制备的滤波器样件性能与仿真曲线基本吻合,在40GHz时插入损耗为0.6dB,回波损耗为21.6dB,在5GHz和55GHz时带外抑制分别为41.8dB和43.9dB。矩形同轴结构的低损耗、高频段等优点在该超宽带矩形微同轴滤波器中有良好的体现。

• 出版日期2020
• 单位北京遥测技术研究所; 西北工业大学