介绍了气浮支撑下直线电动机低速驱动系统的设计,重点对系统设计与调试过程中遇到的HALL报警问题进行了故障诊断分析,并提出了多种低速驱动性能的优化技术,包括提高编码器分辨率、提高驱动PWM开关频率、减小外接干扰、采用先进伺服算法等。