氯化和氢化的无定形硅的拉曼谱和红外谱

作者：汪兆平; 韩和相; 李国华; 赵学恕

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 1984, (05): 478-483.

• 拉曼谱
• 红外谱
• 无定形硅

本文报道氯化和氢化的无定形硅(a-Si:H:Cl)样品的拉曼谱和红外谱的测量结果.样品是在H_2和SiCl_4混合气体中用辉光放电方法淀积在晶体硅(c-Si)衬底上的.实验上观察到无序激活的诸声子模式和氢感应的各Si-H 键的振动带.此外,还观察到 Si-Cl键和Si-O 键的振动带.我们识别,在600cm~(-1)处的峰是SiCl_2键的反对称的拉伸振动;540cm~(-1)处的峰是SiCl键的拉伸振动和SiCl_2键的对称拉伸振动模式的叠加.在795cm~(-1)处的峰与氧的沾污有关,与氯的引入无关.

• 出版日期1984
• 单位中国科学院半导体研究所