<正> 大规模集成电路(LSI)是我国重点项目之一,也是计量测试的新课题。 LSI的计量检测工作牵涉到多种计量领域,并且有些量值已进入新型的、微区、微量、微电子学的计量范围。为了解决LSI生产中的一些计量测试问题,中国计量科学研究院在北京市半导体器件一厂进行了五个多月的调研。我们通过对该厂使用
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