摘要

文中讨论了决定光导型探测器性能的主要因素。在理论分析的基础上 ,对低温单元光导InSb探测器的主要工艺参数进行分析和估算。简单介绍研制结果

  • 出版日期2002
  • 单位中国电子科技集团公司第十一研究所