一种激光诱导等离子体增强和发射光高效收集方法及装置

作者:杨蕾; 李银川; 张雁辉; 秦磊; 徐梦洁; 纪峰; 魏永清; 卢荣胜
来源:2023-04-13, 中国, CN202310417493.8.

摘要

本发明属于原子发射光谱测量技术领域,具体涉及一种及激光诱导等离子体增强和发射光高效收集方法及装置,高能脉冲激光垂直会聚于样品表面,在样品表面形成圆形状激光聚焦光斑,高能脉冲激光与样品互作用产生等离子体光谱;设计的开放式光滑三角腔体放置于样品表面,使聚焦光斑位置位于腔体两内壁中心位置;利用腔体约束等离子体羽的能力,增强等离子体光谱信号;利用腔体的开放式三角结构及光滑内壁减少腔体内等离子体发射光损耗,增加收集系统的光收集效率;最后获取双重增强效果的激光诱导等离子体光谱信号,增强激光诱导等离子体光谱强度,提高光谱稳定性和灵敏度。本发明可以有效地增强和充分地收集激光诱导等离子体光谱信号。