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An Ultrathin Monolithic XY Nanopositioning Stage Constructed From a Single Sheet of Piezoelectric Material
作者：Fleming Andrew J; Yong Yuen Kuan
来源：
IEEE/ASME Transactions on Mechatronics
, 2017, 22(6): 2611-2618.
DOI：10.1109/TMECH.2017.2755659
出版日期
2017-12
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