MEEVA源生成Ti金属等离子体粒子密度和电离度的原子发射光谱诊断

作者：邓春凤; 李璟; 王锴; 史学伟; 吴先映

来源：北京师范大学学报(自然科学版), 2013, (06): 571-577.

• MEVVA Ti等离子体
• 等离子体发射光谱诊断
• Saha-Boltzmann方程法 MEVVA Ti plasma
• plasma emission spectroscopy
• Saha-Boltzmann equation

利用原子发射光谱对等离子体粒子密度进行诊断的Saha-Boltzmann方程法,并对其进行了改进.并结合多谱线斜率法,针对用英国avantes公司生产的AvaSpec-2048FT-8-RM型光栅光谱仪采集到的金属蒸汽真空弧(MEVVA)源生成的金属钛等离子体的发射光谱,对其电子、离子温度,电子、原子、一价离子和二价离子密度,原子和一价离子电离度进行诊断;对MEVVA Ti等离子体的热力学状态进行了判断;从而实现MEVVA Ti等离子体的发射光谱诊断.此外,还对MEVVA Ti等离子体参数随离子源工作弧压的变化情况进行了讨论.

• 出版日期2013
• 单位中国工程物理研究院核物理与化学研究所; 北京师范大学; 北京市辐射中心