潜在工艺失效模式机器识别方法

作者:刘卫东; 吴路路; 吴中义; 陈炳松; 李振振; 郑伟杰
来源:2019-01-31, 中国, ZL201910097635.0.

摘要

本发明公开了一种潜在工艺失效模式机器识别方法,计算工步构成六要素与工艺失效模式判定准则之间的关联度,并将该关联度作为判定信息和工步构成六要素的信息输入到seq2seq模型中,且潜在工艺失效模式的信息作为输出,进行学习训练,得到潜在工艺失效模式生成模型f3,将模型集F2生成的工步构成六要素输入到模型f3中,最终实现潜在工艺失效模式的识别。本发明将自然语言处理技术与深度学习技术相结合,实现潜在工艺失效模式的机器识别,能够提高潜在工艺失效模式识别的效率,能有效的避免因人本身的不确定性因素而造成的识别质量不稳定问题。