按传统三面互检法评价平面度偏差,结果只能由评价平晶在两条相互垂直的直径线上的测量数值得到,其评价方法与平晶的真实面形偏差存在差异。本文介绍的基于光电探测技术、激光干涉技术、图像处理技术的带旋转三面互检法可以解出平面上N条直径线上的点的面形偏差,可以提高测量准确度。
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