分子流状态平面密封结构漏率预估

作者：杜秋华; 杜海深; 巫宗萍; 李超

来源：真空, 2012, (01): 36-38.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2012.01.032

• 平面密封
• Roth模型
• 分子流
• 漏率预估 plane sealing
• Roth model
• molecular flow
• leakage rate estimate

本文结合Roth模型建立了分子流状态下的漏率计算模型,得出了平面密封泄漏漏率与密封力矩、密封面粗糙度之间的对应关系,同时还给出为保证分子流状态,密封力矩、密封面粗糙度应满足的条件。在理论计算的同时,还通过实验证明了漏率预估方法的准确性。

• 出版日期2012
• 单位中国工程物理研究院总体工程研究所