超精密定位系统是现代科技与工业发展的核心技术之一,长期以来受科研及高科技产业迅速发展的推动,对其运动控制技术的需求迅速增长,比如超精密加工,微/纳米制造,包装等。除需要达到超精密的定位精度外,还要求各运动轴在定位过程中严格按照既定的轨迹协同运动。本文首先提出了基于ACS运动控制模块的X-Y定位平台的设计方案。然后,根据控制需求进行了系统参数的合理配置和优化。测试结果表明该系统能实现既定轨迹的精确跟踪,并能满足不断发展的多自由度,多约束加工和制造要求。
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