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Advancing x-ray scattering metrology using inverse genetic algorithms
作者：Hannon Adam F; Sunday Daniel F; Windover Donald; Kline R Joseph
来源：
Journal of Micro/ Nanolithography, Mems, and Moems
, 2016, 15(3): 034001.
DOI：10.1117/1.JMM.15.3.034001
出版日期
2016-7
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