全国半导体设备和材料标准化技术委员会第八届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会2018年会在上海召开

来源：微纳电子技术, 2018, 55(12): 932.

<正>全国半导体设备和材料标准化技术委员会第八届微光刻技术交流会暨微光刻分技术委员会年会于2018年10月9-12日在上海召开,来自全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会的委员和国内外88家单位微光刻领域的专家及技术人员近160余人参加了本次会议。10月10日上午的会议由中国科学院北京综合研究中心、全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分技术委员会主任冯稷研究员主持。上海交通大学电子信息与电气工程学院党委书记苏跃增教授代表承办方致欢迎词。先进电子材料与器件平台(AEMD平台)常务副主任程秀兰研究员感谢委员会对于平

• 出版日期2018