摘要

以硝酸锌和硝酸钾混和溶液为电解液,采用两电极体系在SnO2∶F(FTO)片和p-Si(100)衬底上用不同沉积电压制备了c轴取向的ZnO薄膜。用X-射线衍射、扫描电子显微镜和分光光度计分析了薄膜的相结构,晶粒尺寸和光吸收特性。发现薄膜的(002)衍射峰强度随着沉积电压的增加而显著增强;薄膜中晶粒为典型的六方柱状结构,且基本与衬底垂直,晶粒尺寸为200~400 nm;薄膜的光学禁带宽度为3.34 eV。光照时,ZnO/Si异质结二极管呈明显的光生电流效应。