倒筒式直流溅射法生长大尺寸双面YBCO高温超导薄膜

作者：陶伯万; 刘兴钊; 张鹰; 罗安; 何世明; 李言荣

来源：硅酸盐学报, 2002, (02): 220-223+229.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2002.02.017

• 高温超导
• 薄膜
• 钇钡铜氧超导膜
• 直流溅射

采用倒筒式直流溅射结合辐射加热方法对无源微波器件用的Y1 Ba2 Cu3O7-x(YBCO)双面薄膜生长进行了研究 ,实验结果表明 :直流非磁控溅射可以制备性能良好的薄膜 .通过基片绕支撑杆和基片表面法线旋转 ,实现了在 (10 0 )LaAlO3基片两面同时原位沉积厚度均匀的YBCO薄膜 .生长出的 2 5 .4mm(linch)高质量的YBCO双面薄膜 ,两面的Tc0 分别为 90 .3K和 90 .4K ,超导转变宽度均为 0 .8K ,两面的微观表面电阻 (Rs)随温度变化一致 ,Rs(77K ,10GHz)分别为 3 3 0 μΩ和 40 0 μΩ .在直径 3 0mm的基片上 ,薄膜的厚度均匀性良好 ,其厚度起伏在 10 %以内 .薄膜面内的Tc0 分布在 90K附近 ,Rs 都分布在 1mΩ以内 ,能满足微波器件研制的需要

• 出版日期2002-4-26
• 单位电子科技大学