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摘要
探讨薄膜液晶显示屏行业与半导体芯片厂废磷酸基蚀刻液的异同,对薄膜液晶显示屏行业产生的磷酸基蚀刻液废液的产生背景和处置利用方式进行了研究。通过研究、分析和实践提出了一种半导体芯片厂废磷酸蚀刻液的资源利用工艺:找出了一种絮状物去除剂A,使用试剂A可将废磷酸基蚀刻液中的絮状物通过化学反应的方式去除,将絮状物除后的磷酸经过中和反应、结晶、离心和干燥等工序可制备出满足国家和行业标准的磷酸二氢钾产品。通过以上工艺制备的产品满足工业品品质要求,按照危废鉴定准则,不属于危险废弃物,可作为产品进行市场销售,从而实现了资源的再利用。
- 出版日期2021
- 单位陕西高科环保科技有限公司
