MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展

作者：陶凯; 丁桂甫; 杨卓青; 王佩红; 吴义伯; 汪红; 王艳

来源：传感器与微系统, 2011, (05): 1-4+7.

DOI：10.13873/j.1000-97872011.05.015

• 微机电系统
• 永磁材料
• 永磁薄膜
• 微细加工 MEMS
• permanent magnetic materials
• permanent magnetic films
• micromachining technologies

概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积(PLD)和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。

• 出版日期2011
• 单位安徽大学; 上海交通大学