碳化硅单晶衬底精密加工技术研究

作者：赵岁花; 梁津; 王家鹏; 衣忠波

来源：电子工业专用设备, 2018, 47(03): 28-31.

• SiC单晶
• 衬底
• 精密加工

介绍了碳化硅(SiC)材料的结构和特性,分析了SiC材料的应用领域及发展趋势,研究了其单晶衬底精密加工技术,该研究对提高SiC单晶衬底加工表面质量具有指导意义。

• 出版日期2018
• 单位中国电子科技集团公司第四十五研究所