在对RF(射频)发生器作简介的基础上,从联锁保护电路入手,选择了RF发生器不能进入点火前的准备状态、无输出功率、输出负载过重、不能形成等离子火炬、点不着火、自动调谐时点火困难和严重超载出现过热等七例有代表性的、已排除了的故障实例深入进行分析研究,提出了排除故障的思路与办法.
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