多线锯加工是当前最先进的半导体切片加工技术。本文应用动力学仿真软件ADAMS,对机床核心部分加工区的线辊传动机构的运动形式进行虚拟样机分析,得到运动过程中各状态参数的监测数据和仿真曲线,对其分析并改进。结果对多线切割机在不同工况下的确定动态特性有很重要的参考价值,为今后设计中提高机床性能提供了依据。
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