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摘要
本文介绍了X射线测量单晶应力的原理和方法,测量了Si单晶的应力,比较了双晶摇摆和三轴晶ω～2θ扫描对结果的影响,考察了计算过程中数据组个数,无应力布拉格角θ0对应力测量的影响。结果表明,采用三轴晶ω～2θ扫描比双晶摇摆更准确,多重线性回归方法对θ0依赖性很小,但测量数据组个数不应低于6。
- 出版日期2009
- 单位北京有色金属研究总院
本文介绍了X射线测量单晶应力的原理和方法,测量了Si单晶的应力,比较了双晶摇摆和三轴晶ω～2θ扫描对结果的影响,考察了计算过程中数据组个数,无应力布拉格角θ0对应力测量的影响。结果表明,采用三轴晶ω～2θ扫描比双晶摇摆更准确,多重线性回归方法对θ0依赖性很小,但测量数据组个数不应低于6。
