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摘要
建立了基于分子反应动力学的氧等离子体化学反应模型,该模型包括了电子与氧分子,以及氧原子与氧分子的碰撞反应过程。利用反应动力学理论计算并讨论了电激励O2(1△)发生器的放电参数,发现电子能量应小于2.5eV。电子浓度对O2(1△)产率的影响不大,当放电压力与气体线流速一定时,存在最佳的电子平均能量。
- 出版日期2004
- 单位中国科学院大连化学物理研究所
建立了基于分子反应动力学的氧等离子体化学反应模型,该模型包括了电子与氧分子,以及氧原子与氧分子的碰撞反应过程。利用反应动力学理论计算并讨论了电激励O2(1△)发生器的放电参数,发现电子能量应小于2.5eV。电子浓度对O2(1△)产率的影响不大,当放电压力与气体线流速一定时,存在最佳的电子平均能量。
