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摘要
一种高速激光线扫描的表面缺陷检测装置,该装置主要包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、第二高反镜、波片、第三高反镜、旋转棱镜、行触发探测器、远心场镜、激光聚焦点阵线、被测样品、散射光收集器、线阵散射光探测器和柱面透镜。该装置具有较高的灵敏度和信噪比,解决了大口径、大重量样品的表面缺陷测量需求。
- 出版日期2016-10-26
- 单位合肥知常光电科技有限公司; 中国科学院上海光学精密机械研究所
一种高速激光线扫描的表面缺陷检测装置,该装置主要包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、第二高反镜、波片、第三高反镜、旋转棱镜、行触发探测器、远心场镜、激光聚焦点阵线、被测样品、散射光收集器、线阵散射光探测器和柱面透镜。该装置具有较高的灵敏度和信噪比,解决了大口径、大重量样品的表面缺陷测量需求。
