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摘要
相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键。针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等探针类实验装置以及球-盘式、销-盘式、针-盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置,着重介绍了它们的工作原理和适用对象。并根据MEMS技术的发展现状,对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望。
- 出版日期2016
- 单位机电工程学院; 中国矿业大学; 中国矿业大学（北京）
