射频功率对筒状聚酯内壁类金刚石薄膜结构与性能的影响研究

作者：李景; 田雷; 田修波; 巩春志; 杨士勤

来源：真空科学与技术学报, 2010, (03): 311-315.

• 等离子体增强化学气相沉积
• 类金刚石薄膜
• 射频功率
• 气体透过率 Plasma-enhanced chemical vapor deposition
• Diamond-like carbon
• RF power
• Gas permeability

利用偏压/射频耦合等离子体增强化学气相沉积技术在聚对苯二甲酸乙二醇酯(简称聚酯,PET)筒内壁制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用X射线光电子能谱、扫描电子显微镜、三维表面轮廓仪、紫外/可见光分光光度计和气体渗透率测试仪考察了射频功率对类金刚石薄膜的结构、沉积速率、表面形貌、光学透过率和气体阻隔性能的影响。结果表明,膜层沉积可有效阻挡近紫外区域的光线,同时对O2,CO2的阻隔能力明显提高,这是由于DLC膜层的致密性质以及PET表面原有缺陷的覆盖。与未镀膜PET相比,150 W时制备的DLC膜的气体透过率分别从58.5,61.7cm3m-2atm-1d-1降低至0.7,1.5 cm3m-2.atm...

• 出版日期2010
• 单位哈尔滨工业大学