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碳化硅轻型反射镜技术
作者:马文礼; 沈忙作
来源:
光学精密工程
, 1999, (02): 9-13.
轻型反射镜
碳化硅 Weightlight mirror
SiC
摘要
给出了常用的轻质材料,对比分析了碳化硅的材料特性。介绍了碳化硅反射镜制造中的几个关键技术,包括RB碳化硅反射镜毛坯制造,SiC涂层技术和SiC反射镜的加工技术。
出版日期
1999
单位
中国科学院光电技术研究所
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