不同掺Ag含量下高温(800℃)沉积CrN/Ag涂层的组织结构及其性能

作者：张旭海; 巫亮; 曾宇乔; 李凡; 徐笑; 李想; 武小冕; 蒋建清

来源：功能材料, 2013, (13): 1908-1911.

• CrN/Ag涂层
• 磁控溅射
• 热处理
• 氧化
• 硬度
• Ag溢出 CrN/Ag thin coatings
• magnetron sputtering
• heat treatment
• oxidation
• hardness
• Ag diffusion

为研究高温下掺入Ag的CrN涂层的组织性能,在沉积温度为800℃的条件下采用直流反应磁控溅射技术制备CrN/Ag硬质涂层。采用扫描电镜(SEM)、EDS能谱仪、X射线衍射(XRD)和维氏硬度计,综合分析了800℃沉积温度下,对不同Ag掺杂情况下CrN/Ag涂层的组织结构和性能特点,以及700℃热处理工艺对其的影响。结果表明,Ag添加导致CrN晶相生长由(200)择优取向向无择优取向转变,并使得CrN/Ag涂层表面粗糙化;少量Ag(7%(原子分数))添加可提高涂层硬度,过多Ag(21%(原子分数))添加明显降低涂层硬度;高温热处理(700℃/1h)后,纯CrN涂层的氧化并不明显,但是,随Ag含量...

• 出版日期2013
• 单位东南大学