摘要

主要介绍UV固化设备制作的反光罩系统及冷却系统。通过合理设计UV反光罩系统及风冷系统来实现低温高光强的UV固化,着重分析了反光罩结构、风路设计等关键因素,提供实现高温固化的解决方案,对UV固化工艺及设备开发具有很好的参考价值。

  • 出版日期2011
  • 单位中国电子科技集团公司第二研究所