射频磁控溅射法制备BST薄膜及性能研究

作者：陈宏伟; 杨传仁; 符春林; 裴亚芳; 胡立业

来源：压电与声光, 2005, (03): 297-299+302.

• 射频磁控溅射
• 钛酸锶钡
• 铁电薄膜
• εr-E曲线
• 电滞回线

采用射频磁控溅射法制备了钛酸锶钡薄膜材料,研究了薄膜的晶体结构和微观形貌,测试了其偏压特性曲线和电滞回线。初步探讨了εr-E曲线、电滞回线发生平移的原因:上下电极与钛酸锶钡薄膜间的界面势垒不对称。

• 出版日期2005
• 单位电子科技大学