碳化硅多线切割技术研究

作者：付纯鹤; 周庆亚; 陈学森; 丁鹏刚

来源：电子工业专用设备, 2016, 45(08): 24-26.

• 碳化硅
• 多线切割
• 摆动

在对碳化硅物理特性分析的基础上,对其多线切割的工艺技术进行了研究,总结出了在碳化硅多线切割设备的几个需要注意的技术要点;并在所研制的设备上进行了工艺切割试验,获得了较好的切割效果。

• 出版日期2016
• 单位中国电子科技集团公司第四十五研究所