一种凝胶模板法制备喷墨打印氧化物薄膜的方法

作者：宁洪龙; 朱镇南; 姚日晖; 蔡炜; 魏靖林; 周尚雄; 袁炜健; 李志航; 史沐杨; 彭俊彪

来源：2018-08-17, 中国, CN201810938263.5.

本发明属于印刷电子领域,涉及氧化物薄膜的喷墨打印制备工艺,具体涉及一种凝胶模板法制备喷墨打印氧化物薄膜的方法。所述方法包括以下步骤：打印机基板保持50～60℃,墨滴速度10～20m/s,喷头不升温,墨滴间距取30～40μm,在衬底上进行喷墨打印；打印结束后将产品静置至凝胶化完成,干燥后在300～450℃下退火1h,得到多孔氧化物薄膜；喷墨打印中使用的墨水为乙二醇溶液,所述乙二醇溶液中含有相当于乙二醇质量0.3～5％的聚丙烯酰胺,以及浓度为0.1～1.0M的八水合氯氧化锆。相比传统的凝胶模板法,本发明基于喷墨打印技术,具有快速沉积、快速图形化、材料设备成本低、能耗小等优势。

• 出版日期2018-8-17
• 单位华南理工大学