AZO-SiO_2-Si材料中二维侧向光伏效应的研究

作者：程家忠; 曹丽杰; 朱鹏飞; 张朝民; 白亮; 潘颖

来源：稀有金属, 2014, (06): 1080-1085.

DOI：10.13373/j.cnki.cjrm.2014.06.023

• AZO-SiO2-Si材料
• 高精度传感器
• 金属氧化物-氧化物-半导体结构
• 二维侧向光伏效应 AZO-SiO2-Si material
• high sensitivity detector
• metal oxide-oxide-semiconductor structure
• two dimensional lateral photovoltaic effect

采用旋转涂覆法在被氧化的硅基底片上形成掺铝氧化锌(AZO)薄膜,再经过真空烘干后制成AZO-Si O2-Si金属氧化物-氧化物-半导体材料样品。使用波长785 nm、功率5 m W的激光在二维方向上扫描样品,绘制出侧向光伏与激光照射点的关系曲线图,研究其二维侧向光伏效应。激光沿一定轨迹扫描金属氧化物-氧化物-半导体结构样品后,利用Origin软件将测得的实验数据拟合成实验结果图。为了更深层次的研究AZO-Si O2-Si结构中的侧向光伏效应,根据电子跃迁、载流子扩散和能带结构理论,结合前人的研究成果建立物理模型。研究显示,作为一种新型的高精度传感器,样品电极点连线区间内测得的侧向光伏曲线灵敏度...

• 出版日期2014
• 单位上海工程技术大学